Эксимерный лазер EL-500-200

Эксимерные лазеры являются самыми эффективными и мощными источниками когерентного излучения в ультрафиолетовой области спектра. Они относятся к классу газовых лазеров, поскольку активной средой является газоразрядная плазма. В лазере EL возбуждение газовой смеси осуществляется поперечным электрическим объемным разрядом. Для работы лазера в частотном режиме (до 100 Гц) применяется специальная система прокачки и охлаждения газа, обеспечивающая полную смену газа между его импульсами. Это обеспечивает стабильность энергии генерации при работе с любой задаваемой частотой. Лазерное излучение формируется в плоско-параллельном резонаторе.

Прибор предназначен для получения мощных наносекундных импульсов лазерного излучения в ультрафиолетовой области спектра. Он представляет собой один блок, в котором расположены лазерная камера с системой прокачки и охлаждения газа, разрядные конденсаторы, коммутатор, генератор запускающих импульсов, импульсного источника высокого напряжения,  панели управления, системы контроля охлаждения водой и низкого уровня лазерного излучения. Лазер может комплектоваться дополнительными оптическими элементами для формирования более качественного излучения.

Лазер серии EL может быть использован в различных областях науки и техники. В частности, он эффективно работает для отжига полупроводников, для накачки лазеров на красителях, в фотохимии, медицине и биологии, для запуска высоковольтных разрядников, в микроэлектронике, литографии, для обработка материалов, для получения нанопорошков и нанопленок.  

Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН
Адрес: 634055, Томск, Росиия, пр. Академический 2/3
Телефон: 007 (3822) 49-18-91, 49-24-10
E-mail: losev@ogl.hcei.tsc.ru
Руководитель проекта: Лосев Валерий Федорович 

Источник: Комитет по науке и инновационной политике
Администрации Томской области.